第五代SFJ-231D型半导体专用氦质谱检漏仪

产品概述
氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比,具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽,此外氦质谱检漏仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体,所以安全可靠。
性能特点
1、德国原装分子泵,双铱带离子源;
2、独特的气路设计,较低的颗粒物干扰;
3、自保护功能,防止本底被污染;
4、自动抽空压力和时间设定,检漏效率高;
5、故障提示和报警功能;
6、可选无线遥控功能;
7、实时监控与检漏曲线自动记录功能;
8、数字、条形、趋势图显示方式读取漏率值;
9、氦本底一键式自动清零;
10、多种检漏模式:粗检、精检、超精检、吸枪模式。
行业应用
科学研究
新能源电池
航空航天
汽车制冷
军事工业
分析仪器
发电厂
核工业
压力容器
精密机械加工
医疗仪器/仪表
真空炉、镀膜设备等装置或系统
高真空和超高真空的工程
半导体等行业